1. Definizione di u sistema di gas in massa:
Stoccaggio è cuntrollu di a pressione di gas inerti Tipi di gas: Gas inerti tipici (azotu, argon, aria compressa, ecc.)
Dimensione di a pipeline: Da 1/4 (pipeline di monitoraghju) à a pipeline principale di 12 pollici
I principali prudutti di u sistema sò: valvula à diafragma / valvula à soffietto / valvula à sfera, connettore di alta purezza (VCR, forma di saldatura), connettore di ferrula, valvula di regulazione di pressione, manometru, ecc.
Attualmente, u novu sistema include ancu un sistema di gas speciale in massa, chì usa buttiglie di gas fisse o camion cisterna per u almacenamentu è u trasportu.
2. Definizione di u Sistema di Purificazione:
Eliminazione di impurità da gas in massa per gasdotti di alta purezza
3. Definizione di l'armarii à gas:
Furnisce u cuntrollu di a pressione è u monitoraghju di u flussu per fonti di gas speciali (gas tossichi, inflammabili, reattivi, corrosivi), è hà a capacità di rimpiazzà e buttiglie di gas.
Situazione: Situatu à u pianu di a sottufabbrica o à u pianu inferiore per u almacenamentu di gasi speciali Fonte: NF3, SF6, WF6, ecc.
Dimensione di a pipeline: Pipeline interna di gas, generalmente 1/4 di pollice per a pipeline di prucessu, 1/4-3/8 di pollice principalmente per a pipeline di spurgu di azotu di alta purezza.
Prodotti principali: Valvole à diafragma di alta purità, valvole di ritegnu, manometri, manometri, connettori di alta purità (VCR, forma di saldatura) Questi armadi à gas cuntenenu basicamente capacità di commutazione automatica per e buttiglie per assicurà una furnitura cuntinua di gas è una sustituzione sicura di e buttiglie.
4. Definizione di distribuzione:
Cunnessione di a fonte di gasu à a bobina di raccolta di gasu
Dimensione di a linea: In a fabbrica di chips, a dimensione di a pipeline di distribuzione di gas in massa varieghja generalmente da 1/2 pollice à 2 pollici.
Forma di cunnessione: I gasdotti speciali sò generalmente cunnessi per saldatura, senza alcuna cunnessione meccanica o altre parti mobili, principalmente perchè a cunnessione di saldatura hà una forte affidabilità di sigillatura.
In una fabbrica di chips, ci sò centinaie di chilometri di tubi cunnessi per trasmette u gasu, chì sò basicamente longhi circa 20 piedi è saldati inseme. Certi piegamenti di tubi è cunnessione di saldatura tubulare sò ancu assai cumuni.
5. Definizione di a scatula di valvula multifunzione (Valve Manifold Box, VMB):
Hè di distribuisce gasi speciali da a fonte di gasu à diverse estremità di l'equipaggiamenti.
Dimensione interna di a pipeline: pipeline di prucessu di 1/4 di pollice, è pipeline di spurgu da 1/4 à 3/8 di pollice. U sistema pò aduprà u cuntrollu di l'urdinatore per richiede valvole attuate o situazioni di costu più bassu cù valvole manuali.
Prodotti di sistema: valvole à diafragma/soffietto d'alta purità, valvole di ritegnu, giunti d'alta purità (VCR, forma di microsaldatura), valvole di regulazione di pressione, manometri è manometri, ecc. Per a distribuzione di certi gas inerti, si usa principalmente u Pannellu di Collettore di Valve - VMP (discu di valvula multifunzione), chì hà una superficia di discu di gas aperta è ùn richiede micca un disignu di spaziu chjusu è una spurga d'azotu supplementaria.
6. Definizione di a piastra/scatula di a valvula secundaria (pannellu di cunnessione di l'attrezzi):
Cunnette u gasu necessariu da l'equipaggiu à semiconduttori da a fonte di gasu à l'estremità di l'equipaggiu è furnisce a regulazione di a pressione currispondente. Stu pannellu hè un sistema di cuntrollu di u gasu chì hè più vicinu à l'estremità di l'equipaggiu chè u VMB (scatola di valvula multifunzione).
Dimensione di a pipeline di gas: 1/4 - 3/8 di pollice
Dimensione di a pipeline di liquidu: 1/2 - 1 inch
Dimensione di a pipa di scaricu: 1/2 - 1 pollice
Prodotti principali: valvula à diafragma/valvula à soffietto, valvula unidirezionale, valvula regulatrice di pressione, manometru, manometru, giuntu d'alta purezza (VCR, microsaldatura), giuntu à ferrula, valvula à sfera, tubu flessibile, ecc.
Data di publicazione: 22 di nuvembre di u 2024