1. Bulk Gas System Definizione:
Stoccaggio è cuntrollu di pressione di gasi inerti Tipi di gas: Gasi inerti tipici (azotu, argon, aria compressa, etc.)
Dimensione di Pipeline: Da 1/4 (pipeline di monitoraghju) à 12-inch pipeline principale
I prudutti principali di u sistema sò: valve di diafragma / valve a soffietto / valvola di sfera, connettore d'alta purezza (VCR, forma di saldatura), connettore ferrule, valvola di regulazione di pressione, manometro, etc.
Attualmente, u novu sistema include ancu un sistema di gasu speziale in massa, chì usa cilindri di gas fissi o camion cisterna per u almacenamentu è u trasportu.
2. Definizione di u Sistema di Purificazione:
Rimozione di impurità da i gasi in massa per i pipelines di gasu d'alta purezza
3. Gabinetti di gas Definizione:
Fornite u cuntrollu di pressione è u monitoraghju di u flussu per e fonti di gas speciali (gasi tossichi, inflammabili, reattivi, corrosivi), è avè a capacità di rimpiazzà i cilindri di gas.
Situazione: Situatu nantu à u pianu Sub-fab o u pianu di fondu per u almacenamentu di gasi speciali Fonte: NF3, SF6, WF6, etc.
Dimensione di Pipeline: Pipeline di gasu internu, generalmente 1/4 inch per u pipeline di prucessu, 1/4-3/8 inch principalmente per u pipeline di purga di nitrogenu di alta purezza.
Prudutti principali: Valvule di diafragma d'alta purezza, valvole di cuntrollu, manometri di pressione, manometri di pressione, connettori di alta purezza (VCR, forma di saldatura) Questi armarii di gas cuntenenu basicamente capacità di commutazione automatica per i cilindri per assicurà un fornimentu cuntinuu di gas è a sostituzione sicura di cilindri.
4. Definizione di distribuzione:
Cunnettendu a fonte di gasu à a bobina di raccolta di gas
Dimensione di a linea: In a fabbrica di chip, a dimensione di u pipeline di distribuzione di gas in massa hè generalmente da 1/2 inch à 2 inch.
Forma di cunnessione: i pipeline di gas speciali sò generalmente cunnessi per saldatura, senza alcuna cunnessione meccanica o altre parti in muvimentu, principalmente perchè a cunnessione di saldatura hà una forte affidabilità di sigillatura.
In una fabbrica di chip, ci sò centinaie di chilometri di tubi cunnessi per trasmette gasu, chì sò in fondu di circa 20 piedi di lunghezza è saldati inseme. Alcune curve di tubi è cunnessione di saldatura tubulari sò ancu assai cumuni.
5. Scatola di valvula multifunzione (Valve Manifold Box, VMB) Definizione:
Hè di distribuisce gasi spiciali da a fonte di gas à e diverse fini di l'equipaggiu.
Dimensione interna di a pipeline: 1/4 inch pipeline process, è 1/4 - 3/8 inch purge pipeline. U sistema pò usà u cuntrollu di l'urdinatore per dumandà valvole attuate o situazioni di costu più bassu cù valvole manuali.
Prudutti di u sistema: valvole di diafragma d'alta purezza / valvole a soffietto, valvole di verificazione, articulazioni di alta purezza (VCR, forma di micro-saldatura), valvole di regulazione di pressione, manometri è manometri di pressione, etc. Per a distribuzione di certi gasi inerti, u Panel di Valve Manifold - U VMP (discu di valvula multifunzione) hè principalmente utilizatu, chì hà una superficia di discu di gas aperta è ùn hà micca bisognu di un disignu di spaziu chjusu è purga di nitrogenu supplementu.
6. Piastra di valvula secundaria / scatula (Tool Hookup Panel) Definizione:
Cunnette u gasu necessariu da l'equipaggiu semiconductor da a fonte di gas à l'estremità di l'equipaggiu è furnisce a regulazione di pressione currispondente. Stu pannellu hè un sistema di cuntrollu di gas chì hè più vicinu à a fine di l'equipaggiu cà u VMB (scatola di valvula multifunzione).
Dimensione di a pipeline di gasu: 1/4 - 3/8 inch
Dimensione di a pipeline di liquidu: 1/2 - 1 inch
Dimensione di a pipeline di scaricamentu: 1/2 - 1 inch
Prudutti principali: valvola di diafragma / valvola a soffietto, valvola unidirezionale, valvola di regulazione di pressione, manometro, manometro, joint d'alta purezza (VCR, micro-saldatura), joint ferrule, valve a sfera, tubu, etc.
Tempu di Postu: Nov-22-2024