As semiconductorè i tecnulugii microelettronici si sviluppanu versu un rendimentu più altu è una integrazione più altu, i requisiti più elevati sò posti nantu à a purità di gasi speciali elettronichi. A tecnulugia di piping di gas di alta purezza hè una parte impurtante di u sistema di furnimentu di gas d'alta purezza. Hè a tecnulugia chjave per furnisce gasi d'alta purezza chì risponde à i requisiti à i punti d'usu di gas mantenendu una qualità qualificata.
A tecnulugia di piping d'alta purezza include u disignu currettu di u sistema, a selezzione di raccordi di tubi è materiali ausiliari, a custruzzione è a stallazione è a prova.
01 Cuncepimentu generale di tubazione di trasmissione di gas
Tutti i gasi d'alta purezza è d'alta purezza anu da esse trasportati à u puntu di gasu terminale attraversu pipeline. Per risponde à i requisiti di qualità di u prucessu per u gasu, quandu l'indici di l'esportazione di gasu hè sicuru, hè più necessariu di attentu à a selezzione di materiale è a qualità di custruzzione di u sistema di piping. In più di l'accuratezza di l'equipaggiu di pruduzzione di gas o purificazione, hè largamente affettatu da parechji fatturi di u sistema di pipeline. Per quessa, a selezzione di pipi hà bisognu à rispittà i principii pertinenti di l'industria di purificazione è marcà u materiale di i pipi in i disegni.
02L'impurtanza di i pipeline d'alta purezza in u trasportu di gas
L'impurtanza di pipelines d'alta purezza in u trasportu di gasu d'alta purezza Durante u prucessu di fusione di l'acciaio inossidabile, ogni tonnellata pò assorbe circa 200 g di gas. Dopu chì l'acciaio inossidabile hè processatu, ùn sò micca solu diversi contaminanti appiccicati nantu à a so superficia, ma ancu una certa quantità di gas hè assorbita in u so lattice metallicu. Quandu ci hè un flussu d'aria chì passa per u pipeline, a parte di u gasu assorbita da u metallu entrerà in u flussu di l'aria è contamina u gasu puro.
Quandu u flussu d'aria in a pipa hè discontinuu, a pipa forma adsorption di pressione nantu à u gasu chì passa. Quandu u flussu d'aria ferma di passà, u gasu adsorbitu da a pipa forma analisi di riduzzione di pressione, è u gasu analizatu entra ancu in u gasu puru in a pipa cum'è impurità.
À u listessu tempu, u ciculu di l'adsorption è l'analisi pruvucarà u metale nantu à a superficia interna di a pipa per pruduce una certa quantità di polvere. Questa particella di polvera di metallu contamina ancu u gasu puru in a pipa. Sta caratteristica di a pipa hè assai impurtante. Per assicurà a purità di u gasu trasportatu, ùn hè micca solu necessariu chì a superficia interna di a pipa hà una liscia estremamente alta, ma ancu chì deve avè una alta resistenza à l'usura.
Quandu u gasu hà una forte proprietà corrosive, i tubi d'acciaio inossidabile resistenti à a corrosione deve esse usatu per piping. Altrimenti, i spots di corrosione appariscenu nantu à a superficia interna di a pipa per via di a corrosione. In i casi severi, grossi pezzi di metallu sbuchjaranu o ancu perforate, cuntaminandu cusì u gasu puru chì hè trasportatu.
03 Materiale di pipa
A selezzione di materiale di a pipa deve esse sceltu secondu i bisogni di l'usu. A qualità di a pipa hè generalmente misurata secondu a rugosità di a superficia interna di a pipa. A più bassa hè a rugosità, u menu prubabile di trasportà particelle. Generalmente divisu in trè tippi:
Unu hèTubu EP grade 316L, chì hè stata lucidata electrolytically (Electro-Polish). Hè resistente à a corrosione è hà una rugosità superficiale bassa. Rmax (massimu piccu à l'altezza di a valle) hè di circa 0,3 μm o menu. Havi a piattezza più altu è ùn hè micca faciule di furmà micro-eddy currents. Eliminate particeddi contaminati. U gasu di reazzione utilizatu in u prucessu deve esse piped à questu livellu.
Unu hè aClasse BA 316Lpipa, chì hè stata trattata da Bright Anneal è hè spessu usata per i gasi chì sò in cuntattu cù u chip, ma ùn participanu micca à a reazzione di prucessu, cum'è GN2 è CDA. Unu hè AP pipe (Annealing & Picking), chì ùn hè micca trattatu in particulare è hè generalmente utilizatu per doppia serie di tubi esterni chì ùn sò micca usati cum'è linee di furnimentu di gas.
04 Custruzzione di pipeline
U prucessu di a bocca di pipa hè unu di i punti chjave di sta tecnulugia di custruzzione. U tagliu di pipeline è a prefabbricazione sò realizati in un ambiente pulitu, è à u stessu tempu, hè assicuratu chì ùn ci sò micca marchi dannosi o danni nantu à a superficia di u pipeline prima di cutà. A preparazione per u flussu di nitrogenu in a pipeline deve esse fatta prima di apre u pipeline. In principiu, a saldatura hè aduprata per cunnette e pipeline di trasmissione è distribuzione di gas d'alta purezza è d'alta purezza cù un grande flussu, ma a saldatura diretta ùn hè micca permessa. I giunti di Casing deve esse usatu, è u materiale di pipa utilizatu hè necessariu per ùn avè micca cambiamentu in a struttura durante a saldatura. Se u materiale cun cuntenutu troppu altu di carbone hè saldatu, a permeabilità di l'aria di a parte di saldatura pruvucarà u gasu in l'internu è fora di a pipa per penetrà l'un à l'altru, distrughjendu a purità, a secchezza è a purezza di u gasu di trasportu, chì portanu à cunsequenze gravi. è influenza a qualità di pruduzzione.
In riassuntu, per u gasu d'alta purezza è i pipelines di trasmissione di gasu speziale, deve esse usatu un tubu d'acciaio inossidabile d'alta purezza trattatu apposta, chì face u sistema di pipeline d'alta purezza (cumprese pipelines, raccordi di pipa, valve, VMB, VMP) occupanu un missione vitale in a distribuzione di gas d'alta purezza.
Tempu di Postu: 26-Nov-2024