As semiconduttoreè e tecnulugie microelettroniche si sviluppanu versu prestazioni più elevate è una maggiore integrazione, esigenze più elevate sò poste nantu à a purità di i gas speciali elettronichi. A tecnulugia di e tubazioni di gas di alta purità hè una parte impurtante di u sistema di furnimentu di gas di alta purità. Hè a tecnulugia chjave per furnisce gas di alta purità chì rispondenu à i requisiti à i punti d'usu di u gas pur mantenendu una qualità qualificata.
A tecnulugia di e tubazioni d'alta purezza include a cuncepzione curretta di u sistema, a selezzione di raccordi per tubi è materiali ausiliari, a custruzzione è l'installazione è a prova.
01 Cuncettu generale di tubazioni di trasmissione di gas
Tutti i gasi di alta purezza è alta pulizia devenu esse trasportati à u puntu terminale di gasu per mezu di pipeline. Per risponde à i requisiti di qualità di u prucessu per u gasu, quandu l'indice d'esportazione di gasu hè certu, hè più necessariu fà attenzione à a selezzione di i materiali è à a qualità di custruzzione di u sistema di tubazioni. In più di a precisione di l'equipaggiu di pruduzzione o di purificazione di gasu, hè largamente influenzatu da parechji fattori di u sistema di pipeline. Dunque, a selezzione di i tubi deve rispettà i principii pertinenti di l'industria di purificazione è marcà u materiale di i tubi in i disegni.
02L'impurtanza di e pipeline di alta purezza in u trasportu di gas
L'impurtanza di e pipeline di alta purezza in u trasportu di gas di alta purezza Durante u prucessu di fusione di l'acciaio inox, ogni tonnellata pò assorbe circa 200 g di gas. Dopu chì l'acciaio inox hè trasfurmatu, micca solu diversi inquinanti sò attaccati à a so superficia, ma ancu una certa quantità di gas hè assorbita in u so reticolo metallicu. Quandu ci hè un flussu d'aria chì passa per a pipeline, a parte di u gas assorbita da u metallu rientrerà in u flussu d'aria è inquinerà u gas puru.
Quandu u flussu d'aria in u tubu hè discontinuu, u tubu forma una adsorbenza di pressione nantu à u gasu chì passa. Quandu u flussu d'aria smette di passà, u gasu adsorbitu da u tubu forma una analisi di riduzione di pressione, è u gasu analizatu entra ancu in u gasu puru in u tubu cum'è impurità.
À u listessu tempu, u ciclu d'adsorbimentu è d'analisi farà chì u metallu nantu à a superficia interna di u tubu pruduci una certa quantità di polvere. Sta particella di polvere metallica inquina ancu u gasu puru in u tubu. Sta caratteristica di u tubu hè assai impurtante. Per assicurà a purezza di u gasu trasportatu, ùn hè micca solu necessariu chì a superficia interna di u tubu abbia una levigatezza estremamente alta, ma ancu chì abbia una alta resistenza à l'usura.
Quandu u gasu hà forti proprietà currusive, i tubi d'acciaio inox resistenti à a currusione devenu esse aduprati per e tubazioni. Altrimenti, appariranu macchie di currusione nantu à a superficia interna di u tubu per via di a currusione. In casi gravi, grossi pezzi di metallu si staccheranu o ancu si perforeranu, cuntaminendu cusì u gasu puru trasportatu.
03 Materiale di tubi
A selezzione di u materiale di u tubu deve esse scelta secondu i bisogni d'usu. A qualità di u tubu hè generalmente misurata secondu a rugosità di a superficia interna di u tubu. Più bassa hè a rugosità, menu hè prubabile ch'ellu porti particelle. Generalmente divisu in trè tippi:
Unu hèTubu di qualità EP 316L, chì hè statu lucidatu elettroliticamente (Elettro-Polishing). Hè resistente à a currusione è hà una bassa rugosità superficiale. Rmax (altezza massima da piccu à valle) hè di circa 0,3 μm o menu. Hà a più alta planarità è ùn hè faciule furmà currenti micro-eddy. Eliminate e particelle contaminate. U gas di reazione utilizatu in u prucessu deve esse canalizatu à questu livellu.
Unu hè unGradu BA 316Lpipa, chì hè stata trattata da Bright Anneal è hè spessu aduprata per i gasi chì sò in cuntattu cù u chip ma ùn participanu micca à a reazione di u prucessu, cum'è GN2 è CDA. Unu hè a pipa AP (Annealing & Picking), chì ùn hè micca trattata in modu speciale è hè generalmente aduprata per doppii insemi di tubi esterni chì ùn sò micca aduprati cum'è linee di furnimentu di gas.
04 Custruzzione di pipeline
A trasfurmazione di l'imboccatura di a pipa hè unu di i punti chjave di sta tecnulugia di custruzzione. U tagliu è a prefabbricazione di a pipa sò realizati in un ambiente pulitu, è à u listessu tempu, hè assicuratu chì ùn ci sianu micca marchi dannosi o danni nantu à a superficia di a pipa prima di u tagliu. I preparativi per u svuotamentu di l'azotu in a pipa devenu esse fatti prima di apre a pipa. In principiu, a saldatura hè aduprata per cunnette e pipeline di trasmissione è distribuzione di gas di alta purezza è alta pulizia cù un grande flussu, ma a saldatura diretta ùn hè micca permessa. I giunti di rivestimentu devenu esse aduprati, è u materiale di a pipa adupratu ùn deve avè alcun cambiamentu di struttura durante a saldatura. Se u materiale cù un cuntenutu di carbone troppu altu hè saldatu, a permeabilità à l'aria di a parte di saldatura farà chì u gasu in l'internu è in l'esternu di a pipa si penetri l'unu in l'altru, distrughjendu a purezza, a secchezza è a pulizia di u gasu di trasportu, ciò chì porterà à cunsequenze gravi è influenzerà a qualità di a pruduzzione.
In riassuntu, per e pipeline di trasmissione di gas di alta purezza è di gas speciali, deve esse adupratu un tubu d'acciaio inox di alta purezza trattatu apposta, ciò chì face chì u sistema di pipeline di alta purezza (cumprese pipeline, raccordi per tubi, valvole, VMB, VMP) occupi una missione vitale in a distribuzione di gas di alta purezza.
Data di publicazione: 26 di nuvembre di u 2024